下面跟大家分享下磁控溅射镀膜的常见故障及排除方法 ：

一、膜层灰暗及发黑

(1)真空度低于0.67Pa，应将真空度提高到0.13-0.4Pa；

(2)氩气纯度低于99．9％，应换用纯度为99．99％的氩气；

(3)充气系统漏气，应检查充气系统，排除漏气现象；

(4)底漆未充分固化，应适当延长底漆的固化时间；

(5)镀件放气量太大，应进行干燥和封孔处理。

二、漆膜表面无光泽 

(1)底漆固化不良或变质，应适当延长底漆的固化时间或更换底漆；

(2)溅射时间太长，应适当缩短；

(3)溅射成膜速度太快，应适当降低溅射电流或电压。

三、膜层色泽不均

(1)底漆喷涂得不均匀，应改进底漆的施涂方法；

(2)膜层太薄，应适当提高溅射速度或延长溅射时间；

(3)夹具设计不合理，应改进夹具设计；

(4)镀件的几何形状太复杂，应适当提高镀件的旋转速度。

四、膜层发皱、龟裂

(1)底漆喷涂得太厚，应控制在7—lOtan厚度范围内；

(2)涂料的粘度太高，应适当降低；

(3)蒸发速度太快，应适当减慢；

(4)膜层太厚，应适当缩短溅射时间；

(5)镀件温度太高，应适当缩短对镀件的加温时间。

五、膜层表面有水迹、指纹及灰粒

(1)镀件清洗后未充分干燥，应加强镀前处理；

(2)镀件表面溅上水珠或唾液，应加强文明生产，操作者应带口罩；

(3)涂底漆后手接触过镀件，表面留下指纹，应严禁用手接触镀件表面；

(4)涂料中有颗粒物。应过滤涂料或更换涂料。

(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器，并保持工作环境的清洁。

六、膜层附着力不良

(1)镀件除油脱脂不彻底，应加强镀前处理；

(2)真空室内不清洁，应清洗真空室。值得注意的是，在装靶和拆靶的过程中，严禁用手或不干净的物体与磁控源接触，以保证磁控源具有较高的清洁度，这是提高膜层结合力的要措施之一；

(3)夹具不清洁，应清洗夹；

(4)底涂料选用不当，应更换涂料；

(5)溅射工艺条件控制不当，应改进溅射工艺条件。