物理蒸镀就是把物质加热挥发,然后将其蒸气沉积在预定的基材上.由于蒸发源须加热挥发,又是在真空中进行,故亦称为热蒸镀或真空蒸镀.

其可分为三个步骤

(1)凝态的物质被加热挥发成汽相

(2)蒸汽在具空中移动一段距离至基材

(3)蒸汽在基材上冷却凝结成薄膜