大致上可分为原位量测、离位量测两类

原位星测系指镀膜进行中量测,普遍使用在物理气相沉积,如微天平、光学、电阻量测.

离位量测系指镀膜完成后量测,对电镀膜的行使较为普遍,具有了解电镀效率的目的,如质量、剖面计、扫描式电子显微镜.